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Shanghai Univ
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Date
2019/08 (完)
Client
Shanghai Univ. OLED Center (China)
Product
PEALD (200x200mm2 Glass)
Docking to TM (OLED Cluster)
Bottom –> Up Deposition
(No using Flip Chamber)
400℃, RF Plasma (13.56MHz)
Prev
한국세라믹기술원 (Korea)
한국세라믹기술원 (Korea)
2023.03.03
by
wizone
ASM Korea R&D
Next
ASM Korea R&D
2023.03.03
by
wizone
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주요실적
국내 유수의 대학 연구실에 판매를 통한 Mini ALD Reference 확보
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한국알박 (ULVAC Korea)
Date
2023/01 (예정)
Client
한국알박 (ULVAC Korea)
Product
PEALD (12” Wafer)
Docking to TM (Sputter Cluster)
Max. 400℃
RF Plasma (13.56MHz)
For Test Bed Demo
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한국세라믹기술원 (Korea)
Date
2022/05 (完)
Client
한국세라믹기술원 (Korea)
Product
PEALD/ALE (12” Wafer)
Stand Alone (using L/L)
Max. 400℃
RF Plasma (13.56MHz)
For Test Bed Demo
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Shanghai Univ
Date
2019/08 (完)
Client
Shanghai Univ. OLED Center (China)
Product
PEALD (200x200mm2 Glass)
Docking to TM (OLED Cluster)
Bottom –> Up Deposition
(No using Flip Chamber)
400℃, RF Plasma (13.56MHz)
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ASM Korea R&D
Client
ASM Korea R&D
Product
PEALD (12” Wafer)
Stand Alone (using L/L)
Max. 600℃
RF Plasma (60M, 20M, 13.56MHz) R&D
Read More
아주대학교
Date
2023/01 (예정)
Client
아주대 서형탁 교수
Product
Nexus Plaminar
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파워큐브세미
Date
2022/10/30
Client
파워큐브세미
Product
Nexus Plaminar
차세대전력반도체
Al2O3 , HfO2 등
Read More
한국광기술원
Date
2021/06/30
Client
한국광기술원
Product
Nexus Plaminar
Micro LED
Al2O3 등 Passivation
Read More
(주)제이아이테크
Date
2022/06/30
Client
(주)제이아이테크
Product
Nexus Plaminar
Oxide TFT 연구
IGZO 등
Read More
충남대학교
Date
2022/06/30
Client
충남대 김현석 교수
Product
Nexus Plaminar
Oxide TFT 연구
IGZO 등
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