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주요실적

국내 유수의 대학 연구실에 판매를 통한 Mini ALD Reference 확보

List of Articles
번호 제목 Date Client Product
48 한국알박 (ULVAC Korea) file 2023/01 (예정) 한국알박 (ULVAC Korea) PEALD (12” Wafer)
Docking to TM (Sputter Cluster)
Max. 400℃
RF Plasma (13.56MHz)
For Test Bed Demo
47 한국세라믹기술원 (Korea) file 2022/05 (完) 한국세라믹기술원 (Korea) PEALD/ALE (12” Wafer)
Stand Alone (using L/L)
Max. 400℃
RF Plasma (13.56MHz)
For Test Bed Demo
46 Shanghai Univ file 2019/08 (完) Shanghai Univ. OLED Center (China) PEALD (200x200mm2 Glass)
Docking to TM (OLED Cluster)
Bottom –> Up Deposition
(No using Flip Chamber)
400℃, RF Plasma (13.56MHz)
45 ASM Korea R&D file ASM Korea R&D PEALD (12” Wafer)
Stand Alone (using L/L)
Max. 600℃
RF Plasma (60M, 20M, 13.56MHz) R&D
44 아주대학교 file 2023/01 (예정) 아주대 서형탁 교수 Nexus Plaminar
43 파워큐브세미 file 2022/10/30 파워큐브세미 Nexus Plaminar
차세대전력반도체
Al2O3 , HfO2 등
42 한국광기술원 file 2021/06/30 한국광기술원 Nexus Plaminar
Micro LED
Al2O3 등 Passivation
41 (주)제이아이테크 file 2022/06/30 (주)제이아이테크 Nexus Plaminar
Oxide TFT 연구
IGZO 등
40 충남대학교 file 2022/06/30 충남대 김현석 교수 Nexus Plaminar
Oxide TFT 연구
IGZO 등
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