번호 | 제목 | Date | Client | Product |
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48 | 한국알박 (ULVAC Korea) | 2023/01 (예정) | 한국알박 (ULVAC Korea) | PEALD (12” Wafer) Docking to TM (Sputter Cluster) Max. 400℃ RF Plasma (13.56MHz) For Test Bed Demo |
47 | 한국세라믹기술원 (Korea) | 2022/05 (完) | 한국세라믹기술원 (Korea) | PEALD/ALE (12” Wafer) Stand Alone (using L/L) Max. 400℃ RF Plasma (13.56MHz) For Test Bed Demo |
46 | Shanghai Univ | 2019/08 (完) | Shanghai Univ. OLED Center (China) | PEALD (200x200mm2 Glass) Docking to TM (OLED Cluster) Bottom –> Up Deposition (No using Flip Chamber) 400℃, RF Plasma (13.56MHz) |
45 | ASM Korea R&D | ASM Korea R&D | PEALD (12” Wafer) Stand Alone (using L/L) Max. 600℃ RF Plasma (60M, 20M, 13.56MHz) R&D | |
44 | 아주대학교 | 2023/01 (예정) | 아주대 서형탁 교수 | Nexus Plaminar |
43 | 파워큐브세미 | 2022/10/30 | 파워큐브세미 | Nexus Plaminar 차세대전력반도체 Al2O3 , HfO2 등 |
42 | 한국광기술원 | 2021/06/30 | 한국광기술원 | Nexus Plaminar Micro LED Al2O3 등 Passivation |
41 | (주)제이아이테크 | 2022/06/30 | (주)제이아이테크 | Nexus Plaminar Oxide TFT 연구 IGZO 등 |
40 | 충남대학교 | 2022/06/30 | 충남대 김현석 교수 | Nexus Plaminar Oxide TFT 연구 IGZO 등 |