CEO인사말
기업소개
인증서
특허
국책과제
오시는길
Core Technology
ALD
Space Divided ALD
Technical Needs for ALD
Products Line Up
Thermal Mini ALD
Plasma Mini ALD
T-Max
Process Results
Sales Records
공지사항
자료실
고객문의
채용공고
Partnership
About
Technology
Product
Partnership
Community
Recruit
홈페이지관리
Sales Records
Sales Records
Home
Partnership
Sales Records
✔
뷰어로 보기
서울과학기술대학교
?
단축키
Prev
이전 문서
Next
다음 문서
크게
작게
위로
아래로
게시글 수정 내역
댓글로 가기
인쇄
첨부
?
단축키
Prev
이전 문서
Next
다음 문서
크게
작게
위로
아래로
게시글 수정 내역
댓글로 가기
인쇄
첨부
Extra Form
Date
2018/12/10
Client
서울과기대 안지환 교수
Product
Nexus Mini
전자재료 연구
Al2O3, HfO2
Atachment
첨부
'
2
'
1_7.png
,
서울과학시술대학교로고.jpg
,
위로
아래로
게시글 수정 내역
댓글로 가기
인쇄
첨부
주요실적
국내 유수의 대학 연구실에 판매를 통한 Mini ALD Reference 확보
List
Zine
Gallery
한국알박 (ULVAC Korea)
Date
2023/01 (예정)
Client
한국알박 (ULVAC Korea)
Product
PEALD (12” Wafer)
Docking to TM (Sputter Cluster)
Max. 400℃
RF Plasma (13.56MHz)
For Test Bed Demo
Read More
한국세라믹기술원 (Korea)
Date
2022/05 (完)
Client
한국세라믹기술원 (Korea)
Product
PEALD/ALE (12” Wafer)
Stand Alone (using L/L)
Max. 400℃
RF Plasma (13.56MHz)
For Test Bed Demo
Read More
Shanghai Univ
Date
2019/08 (完)
Client
Shanghai Univ. OLED Center (China)
Product
PEALD (200x200mm2 Glass)
Docking to TM (OLED Cluster)
Bottom –> Up Deposition
(No using Flip Chamber)
400℃, RF Plasma (13.56MHz)
Read More
ASM Korea R&D
Client
ASM Korea R&D
Product
PEALD (12” Wafer)
Stand Alone (using L/L)
Max. 600℃
RF Plasma (60M, 20M, 13.56MHz) R&D
Read More
아주대학교
Date
2023/01 (예정)
Client
아주대 서형탁 교수
Product
Nexus Plaminar
Read More
파워큐브세미
Date
2022/10/30
Client
파워큐브세미
Product
Nexus Plaminar
차세대전력반도체
Al2O3 , HfO2 등
Read More
한국광기술원
Date
2021/06/30
Client
한국광기술원
Product
Nexus Plaminar
Micro LED
Al2O3 등 Passivation
Read More
(주)제이아이테크
Date
2022/06/30
Client
(주)제이아이테크
Product
Nexus Plaminar
Oxide TFT 연구
IGZO 등
Read More
충남대학교
Date
2022/06/30
Client
충남대 김현석 교수
Product
Nexus Plaminar
Oxide TFT 연구
IGZO 등
Read More
목록
Search
검색
제목+내용
제목
내용
댓글
이름
닉네임
아이디
태그
쓰기
Board Pagination
Prev
1
2
3
4
5
6
Next
/ 6
GO