Core Technology

넥서스비는 시분할 및 공간 분할 (Space Divided) ALD 핵심 기술 기반으로 독자적인 Gas Injecting 기술과
R&D/설계/공정/제조 기술 바탕으로 시공간분할/비진공/고생산성/대면적화 등의 기술 경쟁력을 보유하고 있습니다.

넥서스비 핵심 기술

시/공간분할 ALD 기술
고생산성, 비진공 ALD

차별화 Gas Injector 방식
대면적 ALD 구현

Side / Top Pumping
Particle & 소모량 감소

최초 ALD/ALE
동시 구현 기술

다양한 신규 공정 개발
New Application 확대

고품질 시분할 ALD System

고생산성 공간분할 ALD System

넥서스비 자체 기술을 통해 경쟁력 있는 다양한 ALD 장비 개발 및 양산 적용 목표

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