Display/Semiconductor/Battery등의 산업에서 박막 증착의 Needs 및 중요성 증가
Display
20’ 1071억불 25’ 1285억불
한국디스플레이산업협회
Flexible & Micro OLED TFT/Passivation
- 1) Flexile OLED / Micro OLED 등 Passivation 증착
- 2) Micro LED 등 Pixel간 누설로 Passivation 증착
- 3) 저온/유연 산화물 반도체 박막 증착
- 4) 8G급 대면적 고생산성 증착
Semiconductor
20’ 4339억불 23’ 5714억불
KOSME 산업분석 리포트
고집적/미세화에 따른 Thin Film 공정
- 1) 지속적인 Scale Down으로 인한 Tunneling 증가
- 2) 3D Structure 도입으로 높은 Conformal 증착
- 3) DPT/QPT등 저온 공정 지속 증가
- 4) 전력반도체 차세대 GaOx Epi. 증착
Battery
20’ 400억불 25’ 12,000억불
SNE Research (2018b)
Li-ion Battery 양극/분리막 Passivation
- 1) 양극재/분리막 충방전 특성 저하 방지 Passivation
- 2) 파우치 기반 Roll 전/후면 동시 박막 증착 증착
- 3) 저온 및 고생산성 연속 비진공 R2R 박막 증착
- 4) Powder Coating 증착
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