국책과제 13건 (성공판정完 : 9건, 수행中 : 4건) _ 정부출연금기준 71.5억
| No | 국책명 | 과제명 | 수행연구 | 주관기관 | 지원기관 | 수행기간 | 정부출연금 (천원) |
총사업비 (천원) |
비고 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 2015 투자연계형 기업성장 R&D 지원사업 | 플렉서블 디스플레이용 저온-고속 시-공간 분할 하이브리드 원자층 증착 장비 핵심 마듈 개발 | 디스플레이용 공간분할 ALD 핵심 마듈/공정 개발 | ㈜넥서스비 | 미래부 | 2016.04.01 ~ 2017.02.28 |
300,000 | 400,000 | 完 (성공판정) |
| 2 | 2016년 기술이전사업화 사업 (연구소기업 R&BD 과제) |
고집적 메모리 및 시스템 IC 소자용 융·복합 고생산성 원자층 진공 증착장비 핵심 마듈 개발 |
반도체용 공간분할 ALD 핵심 마듈/공정 개발 |
㈜넥서스비 | 미래부 | 2016.10.11 ~ 018.10.10 |
368,000 | 492,000 | 完 (성공판정) |
| 3 | 2016년도 창업성장기술개발사업 '창조경제혁신센터 연계과제' |
고속원자층 증착장비용 저온-저손상 리모트 플라즈마 공간분할 가스 인젝터 마듈 개발 | 리모트플라즈마 공간분할 핵심 마듈 개발 |
㈜넥서스비 | 산자부 | 2016.12.01 ~ 2017.11.30 |
82,000 | 102,500 | 完 (성공판정) |
| 4 | 2017년도 민간투자주도형 기술창업지원사업 | 플렉서블 OLED용 저온고속 공간분할 ALD 개발 | 공간분할 ALD 개발 | ㈜넥서스비 | 중기부 | 2017.10.01 ~ 2019.09.30 |
500,000 | 625,000 | 完 (성공판정) |
| 5 | 2017년도 산학연협력기술개발사업 (첫걸음/도약협력과제) |
mini-ALD 장비 및 공정 기술 개발 | Mini-ALD 장비개발 | ㈜넥서스비 | 중기부 | 2017.12.01 ~ 2018.11.30 |
86,652 | 115,536 | 完 (성공판정) |
| 6 | 2018년도 TIPS 해외마케팅 자금지원사업 | 나노 박막 증착용 Mini ALD System | Mini-ALD System 개발 | ㈜넥서스비 | 중기부 | 2018.12.01 ~ 2019.11.30 |
90,000 | 130,000 | 完 (성공판정) |
| 7 | 2019년도 창업성장기술개발사업 (혁신형 창업과제(기술기반창업형)) |
고유연 초박막 투명 다기능 소재/공정 및 양산용 원자층 증착 장비 개발 | Plasma ALD 장비 개발 | ㈜넥서스비 | 중기부 | 2019.06.26 ~ 2021.06.25 |
400,000 | 500,000 | 完 (성공판정) |
| 8 | 2019년 연구소기업 성장지원 Track2 사업 | Plasma 기반 Mini-ALD 장비 개발 | Plasma ALD 장비 개발 | ㈜넥서스비 | 연구개발 특구 |
2019.07.15 ~ 2020.01.14 |
50,000 | 56,000 | 完 (성공판정) |
| 9 | 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업 | 10nm급 반도체용 100℃ 이하 저온 및 시간당 110매 이상 고생산성 공간분할 원자층 박막 증착 장비 개발 | 반도체 장비 개발 | ㈜넥서스비 | 중기부 | 2019.12.01 ~ 2021.11.30 |
400,000 | 616,000 | 完 (성공판정) |
| 10 | 2020년 기술지주회사 자회사 R&BD사업 | 디스플레이 Oxide TFT Active layer용 공간분할 원자층 박막 증착 장비 개발 | 공간분할 ALD 개발 | 한양대 기술지주회사 |
중기부 | 2020.04.01 ~ 2023.03.31 |
662,400 | 918,080 | 수행중 |
| 11 | 2021년도 중소기업Tech-Bridge활용 상용화 기술개발사업 |
이차전지 양극재에 고품질 Al2O3 박막증착을 위한 R2R 상압공간분할 원자층 증착장비개발 | Battery용 R2R 상압 공간분할 ALD 개발 | ㈜넥서스비 | 중기부 | 2021.04.01 ~ 2023.03.31 |
800,000 | 1,000,000 | 수행중 |
| 12 | 2021년도 소재부품기술개발사업 (소재부품패키지형) |
대면적(M10-M12) p-PERC 핵심 소재부품기술개발 | Solar Cell용 Batch ALD | ㈜나인테크 | 산자부 | 2021.04.01 ~ 2024.12.31 |
2,600,000 | 3,426,000 | 수행중 |
| 13 | 2021년도 소재부품기술개발사업 (함께달리기) |
고효율 고신뢰성 특성의 산화갈륨 전력반도체 소자 기술개발 | 차량용 전력반도체 제조 Mist-CVD장비개발 | 파워큐브세미㈜ | 산자부 | 2021.04.01 ~ 2024.12.31 |
820,000 | 1,025,000 | 수행중 |
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Battery, Solar Cell, 차량용 전력반도체 장비개발 국책과제 신규선정으로
차세대 적용 장비 개발 동력 확보
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