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국책과제 13건 (성공판정完 : 9건, 수행中 : 4건) _ 정부출연금기준 71.5억

No 국책명 과제명 수행연구 주관기관 지원기관 수행기간 정부출연금
(천원)
총사업비
(천원)
비고
1 2015 투자연계형 기업성장 R&D 지원사업 플렉서블 디스플레이용 저온-고속 시-공간 분할  하이브리드 원자층 증착 장비 핵심 마듈 개발 디스플레이용 공간분할 ALD 핵심 마듈/공정 개발 ㈜넥서스비 미래부 2016.04.01 ~
2017.02.28
300,000 400,000
(성공판정)
2 2016년 기술이전사업화 사업
(연구소기업 R&BD 과제)
고집적 메모리 및 시스템 IC 소자용 융·복합 고생산성
원자층 진공 증착장비 핵심 마듈 개발
반도체용 공간분할
ALD 핵심
마듈/공정 개발
㈜넥서스비 미래부 2016.10.11 ~
018.10.10
368,000 492,000
(성공판정)
3 2016년도 창업성장기술개발사업
'창조경제혁신센터 연계과제'
고속원자층 증착장비용 저온-저손상 리모트 플라즈마 공간분할 가스 인젝터 마듈 개발 리모트플라즈마
공간분할 핵심 마듈 개발
㈜넥서스비 산자부 2016.12.01 ~
2017.11.30
82,000 102,500
(성공판정)
4 2017년도 민간투자주도형 기술창업지원사업 플렉서블 OLED용 저온고속 공간분할 ALD 개발 공간분할 ALD 개발 ㈜넥서스비 중기부 2017.10.01 ~
2019.09.30
500,000 625,000
(성공판정)
5 2017년도 산학연협력기술개발사업
(첫걸음/도약협력과제)
mini-ALD 장비 및 공정 기술 개발 Mini-ALD 장비개발 ㈜넥서스비 중기부 2017.12.01 ~
2018.11.30
86,652 115,536
(성공판정)
6 2018년도 TIPS 해외마케팅 자금지원사업 나노 박막 증착용 Mini ALD System Mini-ALD System 개발 ㈜넥서스비 중기부 2018.12.01 ~
2019.11.30
90,000 130,000
(성공판정)
7 2019년도 창업성장기술개발사업
(혁신형 창업과제(기술기반창업형))
고유연 초박막 투명 다기능 소재/공정 및 양산용 원자층 증착 장비 개발 Plasma ALD 장비 개발 ㈜넥서스비 중기부 2019.06.26 ~
2021.06.25
400,000 500,000
(성공판정)
8 2019년 연구소기업 성장지원 Track2 사업 Plasma 기반 Mini-ALD 장비 개발 Plasma ALD 장비 개발 ㈜넥서스비 연구개발
특구
2019.07.15 ~
2020.01.14
50,000 56,000
(성공판정)
9 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업 10nm급 반도체용 100℃ 이하 저온 및 시간당 110매 이상 고생산성 공간분할 원자층 박막 증착 장비 개발 반도체 장비 개발 ㈜넥서스비 중기부 2019.12.01 ~
2021.11.30
400,000 616,000
(성공판정)
10 2020년 기술지주회사 자회사 R&BD사업 디스플레이 Oxide TFT Active layer용 공간분할 원자층 박막 증착 장비 개발 공간분할 ALD 개발 한양대
기술지주회사
중기부 2020.04.01 ~
2023.03.31
662,400 918,080 수행중
11 2021년도 중소기업Tech-Bridge활용
상용화 기술개발사업
이차전지 양극재에 고품질 Al2O3 박막증착을 위한 R2R 상압공간분할 원자층 증착장비개발 Battery용 R2R 상압 공간분할 ALD 개발 ㈜넥서스비 중기부 2021.04.01 ~
2023.03.31
800,000 1,000,000 수행중
12 2021년도 소재부품기술개발사업
(소재부품패키지형)
대면적(M10-M12) p-PERC 핵심 소재부품기술개발 Solar Cell용 Batch ALD ㈜나인테크 산자부 2021.04.01 ~
2024.12.31
2,600,000 3,426,000 수행중
13 2021년도 소재부품기술개발사업
(함께달리기)
고효율 고신뢰성 특성의 산화갈륨 전력반도체 소자 기술개발 차량용 전력반도체 제조 Mist-CVD장비개발 파워큐브세미㈜ 산자부 2021.04.01 ~
2024.12.31
820,000 1,025,000 수행중
Battery, Solar Cell, 차량용 전력반도체 장비개발 국책과제 신규선정으로
차세대 적용 장비 개발 동력 확보