국내/해외 특허/상표 등록 : 14건, 출원 : 26건
| No | 구분 | 권리 | 국가 | 출원인 | 출원일 | 출원번호 | 국문명칭 | 등록일 | 등록번호 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 공간분할 ALD (기술이전) |
특허 | KR | 한양대 산학협력단 |
2013-01-14 | 10-2013-0004051 | 고속 원거리 플라즈마 원자층 증착장치 | 2014-06-05 | 10-1407068 | |
| 특허 | 대만 | 한양대 산학협력단 |
2014-01-14 | 103101238 | Fast remote plasma atomic layer deposition apparatus | 2017-05-21 | I583821 | |||
| 2 | 공간분할 AD | 특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2017-04-14 | 10-2017-0048384 | 원자층 증착을 위한 가스 공급 모듈 | 2019-04-14 | 10-1972389 | |
| 특허 | PCT | 주식회사 넥서스비 | 2018-04-16 | PCT/KR2018/004393 | 원자층 증착을 위한 가스 공급 모듈 | |||||
| 3 | 유무기 복합막 |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2016-06-24 | 10-2016-0079168 | 유-무기 박막 증착 장치 및 유-무기 박막 증착 방법 | 2018-02-06 | 10-1828478 | |
| 특허 | PCT | 주식회사 넥서스비 | 2017-06-26 | PCT/KR2017/006678 | 유-무기 박막 증착 장치 및 유-무기 박막 증착 방법 | |||||
| 4 | 하이브리드 고속 ALD |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2016-06-24 | 10-2016-0079170 | 원자층 증착 장비 가스 모듈, 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법 | 2018-02-26 | 10-1834200 | |
| 특허 | PCT | 주식회사 넥서스비 | 2017-06-26 | PCT/KR2017/006679 | 원자층 증착 장비 가스 모듈, 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법 | |||||
| 5 | R2R ALD |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2016-06-24 | 10-2016-0079172 | 원자층 증착 장비 가스 모듈, 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법 | 2018-04-10 | 10-1849388 | |
| 특허 | PCT | 주식회사 넥서스비 | 2017-06-26 | PCT/KR2017/006681 | 원자층 증착 장비 가스 모듈, 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법 | |||||
| 6 | Semi. ALD |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2016-08-26 | 10-2016-0108987 | 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법 | 2018-07-31 | 10-1885525 | |
| 특허 | PCT | 주식회사 넥서스비 | 2017-06-26 | WO2018-038375 | 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법 | |||||
| 7 | ALD (양도) |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2005-07-21 | 10-2005-066170 | 플라즈마 처리장치 | 2008.01.21 | 10-0798416 | |
| 8 | ALD (양도) |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2006-12-04 | 10-2006-0121339 | 플라즈마 처리장치 | 2008-02-04 | 10-0803338 | |
| 9 | ALD (양도) |
특허 | FL | 주식회사 넥서스비 | 2007-02-21 | FI20075125 | 원거리 플라즈마 원자 층 증착 장치 및 DC 바이어스를 사용하는 방법 | 2013-07-31 | FI 123594 B | |
| 10 | Mini ALD |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2018-06-18 | 10-2018-0069410 | 박막증착장치 | 2020-10-26 | ||
| 11 | PCR | 특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2017-04-19 | 10-2017-0050591 | 휴대용 실시간 PCR 측정기기 | 2019-11-14 | 1900-01-10 | |
| 12 | Semi. ALD |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2018-08-17 | 10-2018-0095961 | 원자층 증착 장치 및 이를 이용한 원자층 증착 방법 | 2020-07-02 | 10-2131933 | |
| PCT | 주식회사 넥서스비 | 2018-09-19 | PCT/KR2018/014690 | 원자층 증착 장치 및 이를 이용한 원자층 증착 방법 | ||||||
| 중국 | 주식회사 넥서스비 | 2021-02-09 | 201880096524.1 | 원자층 증착 장치 및 이를 이용한 원자층 증착 방법 | 중국 개별진출 |
|||||
| 13 | Semi. Spatial ALD | 특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2019-09-27 | 10-2019-0119857 | 원자층 증착 장치 | |||
| 14 | 상표 등록 |
상표 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2018-09-19 | 40-2018-0131402 | NEXUSBE | 2019-09-19 | 40-1536821-000 | |
| 15 | 상표 등록 |
상표 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2018-09-19 | 40-2018-0131403 | NEXUS | 2019-11-18 | 40-1544888-000 | |
| 16 | 상표 등록 |
상표 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2020-06-23 | 40-2020-0106467 | PLAMINAR | |||
| 17 | Min ALD |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2021-02-08 | 10-2021-0017602 | 상압 롤투롤 공간분할 원자층 증착 장치 | |||
| 18 | R2R ALD |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2021-10-14 | 10-2021-0136293 | 롤투롤 원자층 증착 장치 | |||
| 특허 | PCT | 주식회사 넥서스비 | 2021-10-21 | PCT/KR2021/014852 | 롤투롤 원자층 증착 장치 | |||||
| 특허 | 중국 | 주식회사 넥서스비 | 2021-10-27 | 202111253324.2 | 롤투롤 원자층 증착 장치 | |||||
| 19 | ALD (양도) |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2021-12-29 | 10-2021-0190716 | 원자층 증착 장치 및 이를 이용한 원자층 증착 방법 | |||
| 20 | R2R ALD |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2016-01-13 | 10-2016-0004317 | 롤투롤 기반의 다층 적층 방법 | 2017-09-28 | 10-1784669 | |
| 21 | ALE | 특허 | KR | 한양대 산학협력단 |
10-2021-017739 | 식각 특성이 향상된 원자층 식각법 장비 및 공정 방법 |
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