Nexus Mini ALD
저가/소형화/단순화 R&D System
- 1. Thermal Mini ALD
- Laminar Flow Type
- Single Type Thermal
- Load Lock & Cluster System
- 2. Plasma Mini ALD
국내 대학/출연연 및 기업 연구소 등
- KAIST, 포항공대, 중앙대, 아주대, 경희대, 고려대 및 한국화학연구원, 생산기술연구원, 메카로 등 약 50개 이상 기관 판매
Nexus T-Max PEALD
고성능/소형화 준양산급 박막 증착 System
- 1. Plasma Enhanced ALD
- Showerhead Gas Injection Type
- 12” Wafer or 200x200mm2 Glass
- Cluster System
- 2. O3 Based Thermal ALD
국내외 기업 및 연구소
- - ASM Korea, SINEVA社(中) 등 국내외 판매
- - 세라믹기술원 등 테스트베드 구축 판매
Nexus Spatial ALD
고생산성/진공/비진공 공간분할 System
- 1. Spatial ALD
- Gas Injector Type
- 2G & 200x200mm2
- O3 Based Thermal
- 2. Atmospheric Spatial ALD & R2R ALD
국내 기업 및 연구소 (차세대 적용 공정 확대)
- - LG전자/LG화학 Injector 등 판매
- - A社와 디스플레이용(SDC向) 독점 공급 계약 完
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