Space Divided ALD

넥서스비는 원천기술인 공간분할 가스인젝터 기술 기반 기존 시분할 대비
고생산성/상압 ALD 가능합니다.

기존 시분할 ALD

시간에 따른 반응 가스 분리

기판 고정형

시분할 퍼지가스에 따른 가스 분리

낮은 생산성 및 대면적 기판 증착 어려움

성숙한 테크놀로지

공간 분할 ALD

공간에 따른 반응 가스 분리

기판 이동형

공간분할 퍼지가스로 가스 분리

높은 생산성 및 대면적 기판 증착 용이

새로운 테크놀로지

[Ref: Paul Poodt et al. J. Vac. Sci. Technol. , 010802-1, A30(1), Jan/Feb 2012]

기존 시분할 ALD는 기판 고정형으로 각각의 가스들을 순차적으로 주입함 낮은 생산성

공간 분할 ALD는 기판이 이송하면서 해당 가스들이 순차적으로 반응함 높은 생산성

개인정보취급방침 ｜ 이메일무단수집거부 ｜ 고객문의 ｜ 로그인 ｜

넥서스비 대표자 : 최학영 사업자등록번호 : 598-86-00307 | Mail hagyoung.choi@nexusbe.com
주소 : 경기도 용인시 기흥구 탑실로 42
전화 : 031-299-2789 (+82.031.299.2789) 063-225-2789 (+82.063.225.2789)
팩스 : 031-299-2788 (+82.031.299.2788) 063-225-2788 (+82.063.225.2788)