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주요실적

국내 유수의 대학 연구실에 판매를 통한 Mini ALD Reference 확보

  1. 한국알박 (ULVAC Korea)

    Date
    2023/01 (예정)
    Client
    한국알박 (ULVAC Korea)
    Product
    PEALD (12” Wafer)
    Docking to TM (Sputter Cluster)
    Max. 400℃
    RF Plasma (13.56MHz)
    For Test Bed Demo
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  2. 한국세라믹기술원 (Korea)

    Date
    2022/05 (完)
    Client
    한국세라믹기술원 (Korea)
    Product
    PEALD/ALE (12” Wafer)
    Stand Alone (using L/L)
    Max. 400℃
    RF Plasma (13.56MHz)
    For Test Bed Demo
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  3. Shanghai Univ

    Date
    2019/08 (完)
    Client
    Shanghai Univ. OLED Center (China)
    Product
    PEALD (200x200mm2 Glass)
    Docking to TM (OLED Cluster)
    Bottom –> Up Deposition
    (No using Flip Chamber)
    400℃, RF Plasma (13.56MHz)
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  4. ASM Korea R&D

    Client
    ASM Korea R&D
    Product
    PEALD (12” Wafer)
    Stand Alone (using L/L)
    Max. 600℃
    RF Plasma (60M, 20M, 13.56MHz) R&D
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  5. 아주대학교

    Date
    2023/01 (예정)
    Client
    아주대 서형탁 교수
    Product
    Nexus Plaminar
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  6. 파워큐브세미

    Date
    2022/10/30
    Client
    파워큐브세미
    Product
    Nexus Plaminar
    차세대전력반도체
    Al2O3 , HfO2 등
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  7. 한국광기술원

    Date
    2021/06/30
    Client
    한국광기술원
    Product
    Nexus Plaminar
    Micro LED
    Al2O3 등 Passivation
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  8. (주)제이아이테크

    Date
    2022/06/30
    Client
    (주)제이아이테크
    Product
    Nexus Plaminar
    Oxide TFT 연구
    IGZO 등
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  9. 충남대학교

    Date
    2022/06/30
    Client
    충남대 김현석 교수
    Product
    Nexus Plaminar
    Oxide TFT 연구
    IGZO 등
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