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Shanghai Univ

by wizone posted Mar 03, 2023
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Extra Form
Date 2019/08 (完)
Client Shanghai Univ. OLED Center (China)
Product PEALD (200x200mm2 Glass)
Docking to TM (OLED Cluster)
Bottom –> Up Deposition
(No using Flip Chamber)
400℃, RF Plasma (13.56MHz)
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