연혁

2019's Developing day by day

2019. Mini ALD 국내 대학 수주(경희대, KAIST, 아주대, 중앙대, 서울과기대, 군산대 등)

2019. 01 중국 상해대 200X200 상향식 PEALD 수주

2019. 01 ASM Korea 300mm 연구용 PEALD 수주 및 납품

2019. LG전자 상압 ALD 추가 공동개발 논의 中

2019. TIPS 해외 마케팅 사업 선정(1억/1년)

2019. COXEM과 중화권 공동 영업 협력

2019. KOTRA 해외진출 사업 선정

2019. 2차 투자 유치 진행 中

2018's Developing day by day

2018. 03 IP나래 지원사업선정

2018. 07/08 Nano Korea/ ALD 2010/ IMID등 전시회 Booth 설치 및 참가

2018. 09 IP데모데이 입상

2018. 09 Nexus Mini ALD 개발 및 수주

2018. 11 (주)이노페이스 투자유치(2.5억)

2018. 12 TIPS 해외마케팅 사업 선정

2017's Developing day by day

2017. 03 연구소 이전(한양대 -> 용인테크노밸리)

2017. 06 ASM Korea In Situ Cln Coating 공동 개발 수주

2017. 07 LG전자 상압 공간분할 ALD 공동개발 완료

2017. 09 TIPS추천 및 선정(5억/2년)

2017. 10 이노폴리스파트너스(VC) 공공기술기반펀드 투자유치 (5억)

2017. 11 도약 국책과제 선정(1억/1년)

2016's Developing day by day

2016. 02 한양대 특허 기술 이전

2016. 03 한양대 기술지주 회사 자회사 편입 및 증자

2016. 03 한양대 창업보육센터 입주

2016. 04 투자 연계형 RND 국책 과제 선정(3억/1년)

2016. 07 연구개발전담부서 설립

2016. 08 ISO 9001인증

2016. 09 창업맞춤형 과제 선정

2016. 09 연구개발특구 연구소기업 등록 (제257호)

2016. 10 LG전자 상압 ALD 인젝터 공동개발 수주

2016. 10 연구개발특구 R&BD 국책 과제 선정(5억/2년)

2016. 10 벤처인증 (제20160111883호)

2016. 11 LG화학 ALD Gas 인젝터 수주 (LG전자 시스템 탑재)

2015's First day of our Company

2015. 12 법인 설립

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