벤처기업확인서
기업부설연구소 인정서
ISO9001인증
특허 제 10-1972389호
특허 제 10-1828478호
특허 제 10-1834200호
특허 제 10-1849388호
특허 제 10-1885525호
특허 제 10-2046943호
상표등록 제 40-1536821-000
상표등록 제 40-1544888-000
특허 출원 및 등록현황
| No. | 구분 | 권리 | 국가 | 출원인 | 출원일 | 출원번호 | 국문명칭 | 등록일 | 등록번호 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | ALD(양수) | 특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2005-07-21 | 10-2005-066170 | 플라즈마 처리장치 | 2008-01-21 | 10-0798416 |
| 2 | ALD(양수) | 특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2006-12-04 | 10-2006-0121339 | 플라즈마 처리장치 | 2008-02-04 | 10-0803338 |
| 3 | ALD(양수) | 특허 | FL | 주식회사 넥서스비 | 2007-02-21 | FI20075125 | 원거리 플라즈마 원자 층 증착 장치 및 DC 바이어스를 사용하는 방법 | 2013-07-31 | FI 123594 B |
| 4 | 공간분할 ALD (기술이전) |
특허 | KR | 한양대산학협력단 | 2013-01-14 | 10-2013-0004051 | 고속 원거리 플라즈마 원자층 증착장치 | 2014-06-05 | 10-1407068 |
| 특허 | 대만 | 한양대산학협력단 | 2014-01-14 | 103101238 | Fast remote plasma atomic layer deposition apparatus | 2017-05-21 | TW I583821 B | ||
| 5 | 유무기복합막 (현물출자) |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2016-06-24 | 10-2016-0079168 | 유-무기 박막 증착 장치 및 유-무기 박막 증착 방법 | 2018-02-06 | 10-1828478 |
| 특허 | PCT | 주식회사 넥서스비 | 2017-06-26 | PCT/KR2017/006678 | |||||
| 6 | 하이브리드 고속 ALD (현물출자) |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2016-06-24 | 10-2016-0079170 | 원자층 증착 장비 가스 모듈, 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법 | 2018-02-26 | 10-1834200 |
| 특허 | PCT | 주식회사 넥서스비 | 2017-06-26 | PCT/KR2017/006679 | |||||
| 7 | R2R ALD (현물출자) |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2016-06-24 | 10-2016-0079172 | 원자층 증착 장비 가스 모듈, 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법 | 2018-04-10 | 10-1849388 |
| 특허 | PCT | 주식회사 넥서스비 | 2017-06-26 | PCT/KR2017/006681 | |||||
| 8 | 반도체 ALD (자체출원) |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2016-08-26 | 10-2016-0108987 | 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법 | 2018-07-31 | 10-1885525 |
| 특허 | PCT | 주식회사 넥서스비 | 2017-06-26 | PCT/KR2017/006695 | |||||
| 9 | 공간분할 AD (자체출원) |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2017-04-14 | 10-2017-0048384 | 원자층 증착을 위한 가스 공급 모듈 | 2019-04-19 | 10-1972389 |
| 특허 | PCT | 주식회사 넥서스비 | 2018-04-16 | PCT/KR2018/004393 | |||||
| 10 | PCR | 특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2017-04-19 | 10-2017-0050591 | 휴대용 실시간 PCR 측정기기 | 2019-11-14 | 10-2046943 |
| 11 | 반도체 ALD (자체출원_IP지원) |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2018-08-17 | 10-2018-0095961 | 원자층 증착 장치 및 이를 이용한 원자층 증착 방법 | ||
| PCT | 주식회사 넥서스비 | 2018-11-27 | PCT/KR2018/014690 | ||||||
| 12 | Mini-ALD (자체출원) |
특허 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2018-06-18 | 10-2018-0069410 | 박막증착장치 | ||
| 13 | 상표등록 | 상표 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2018-09-19 | 40-20118-0131402 | NEXUSBE | 2019-09-19 | 40-1536821-000 |
| 14 | 상표등록 | 상표 | KR | 주식회사 넥서스비 | 2018-09-19 | 40-20118-0131403 | NEXUS | 2019-11-18 | 40-1544888-000 |
Paper and Presentation
Published Paper
Research Result Presentation (International Conference)
- 2014/ 06 : ALD 2014 (Kyoto, Japan) Oral Presentation
- 2014/ 10 : China ALD 2014 (Shanghai, China) Oral Presentation
- 2015/ 06 : SID 2015 (San Jose, USA) Oral Presentation
- 2015/ 10 : Conference on Organic Electronics (Nanjing, China) Oral Presentation
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