넥서스비는 공간분할 ALD라는 개념을 도입, 가스주입공간을 분할, 기판을 이송하여 생산성 증대
시분할 ALD (기존)
- 시간에 따른 반응 가스 분리
- 기판 고정형
- 시분할 퍼지가스에 따른 가스 분리
- 낮은 생산성 및 대면적 기판 증착 어려움
- 성숙한 테크놀로지
공간분할 ALD (신규)
- 공간에 따른 반응 가스 분리
- 기판 이동형
- 공간분할 퍼지가스로 가스 분리
- 높은 생산성 및 대면적 기판 증착 용이
- 새로운 테크놀로지
[Ref: Paul Poodt et al. J. Vac. Sci. Technol. , 010802-1, A30(1), Jan/Feb 2012]
- 기존 시분할 ALD는 기판 고정형으로 각각의 가스를 순차적으로 주입함 → 낮은 생산성
- 공간 분할 ALD는 기판이 이송하면서 해당 가스들이 순차적으로 반응함 → 높은 생산성
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