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특허 제 10-1972389호
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특허 제 10-1828478호
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특허 제 10-1834200호
벤처기업확인서
특허 제 10-1849388호
연구소기업등록증
특허 제 10-1885525호
 

특허 출원 및 등록현황

구분 권리 국가 출원인 출원일 출원번호 국문명칭 등록일 등록번호
공간분할ALD(기술이전) 특허 KR 한양대산학협력단 2013-01-14 10-2013-0004051 고속 원거리 플라즈마 원자층 증착장치 2014-06-05 10-1407068
특허 대만 한양대산학협력단 2014-01-14 103101238 Fast remote plasma atomic layer deposition apparatus 2017-05-21 I583821
공간분할 AD (자체출원) 특허 KR 주식회사 넥서스비 2017-04-14 10-2017-0048384 원자층 증착을 위한 가스 공급 모듈 2019-04-14 10-1972389
특허 PCT 주식회사 넥서스비 2018-04-16 PCT/KR2018/004393 원자층 증착을 위한 가스 공급 모듈    
유무기복합막(현물출자) 특허 KR 주식회사 넥서스비 2016-06-24 10-2016-0079168 유-무기 박막 증착 장치 및 유-무기 박막 증착 방법 2018-02-06 10-1828478
특허 PCT 주식회사 넥서스비 2017-06-26 PCT/KR2017/006678 유-무기 박막 증착 장치 및 유-무기 박막 증착 방법    
하이브리드 고속 ALD(현물출자) 특허 KR 주식회사 넥서스비 2016-06-24 10-2016-0079170 원자층 증착 장비 가스 모듈, 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법 2018-02-26 10-1834200
특허 PCT 주식회사 넥서스비 2017-06-26 PCT/KR2017/006679 원자층 증착 장비 가스 모듈, 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법    
R2R ALD(현물출자) 특허 KR 주식회사 넥서스비 2016-06-24 10-2016-0079172 원자층 증착 장비 가스 모듈, 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법 2018-04-10 10-1849388
특허 PCT 주식회사 넥서스비 2017-06-26 PCT/KR2017/006681 원자층 증착 장비 가스 모듈, 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법    
반도체 ALD(자체출원) 특허 KR 주식회사 넥서스비 2016-08-26 10-2016-0108987 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법 2018-7-31 10-1885525
특허 PCT 주식회사 넥서스비 2017-06-26 WO2018-038375 원자층 증착 장비 및 그를 이용한 원자층 증착 방법    
ALD(양수) 특허 KR 주식회사 넥서스비 2005-07-21 10-2005-066170 플라즈마 처리장치 2008-01-21 10-0798416
ALD(양수) 특허 KR 주식회사 넥서스비 2006-12-04 10-2006-0121339 플라즈마 처리장치 2008-02-04 10-0803338
ALD(양수) 특허 FL 주식회사 넥서스비 2007-02-21 FI20075125 원거리 플라즈마 원자 층 증착 장치 및 DC 바이어스를 사용하는 방법 2013-07-31 FI 123594 B
mini ALD(자체출원) 특허 KR 주식회사 넥서스비 2018-06-18 10-2018-0069410 박막증착장치    
 

Paper and Presentation

아이콘Published Paper

인증서

아이콘Research Result Presentation (International Conference)

  • 2014/ 06 : ALD 2014 (Kyoto, Japan) Oral Presentation
  • 2014/ 10 : China ALD 2014 (Shanghai, China) Oral Presentation
  • 2015/ 06 : SID 2015 (San Jose, USA) Oral Presentation
  • 2015/ 10 : Conference on Organic Electronics (Nanjing, China) Oral Presentation