플렉서블 OLED 기술 트렌드 변화 – FOLDABLE 스마트폰
기술 발전에 따라서 폴더블 스마트폰의 상업양산이 가시권에 들어옴
폴더블 OLED는 획일화된 폼팩터를 바꿀 게임 체인저 역할 기대
레노버는 2017년 디스플레이를 접을 수 있는 폴더블 스마트폰 프로토타입 공개
삼성전자(갤럭시 X) 및 LG전자도 폴더블 디스플레이 개발중
Encapsulation(봉지공정)에서 기술이 미완성단계로 상용화 지연
기존 CVD 공정으로는 엣지 디스플레이 구현에 필요한 3R까지만 박막 구현 가능함
(필요스펙: 1R 이하)
기술 | 필요사항 | 현재 개발기술 |
---|---|---|
커버윈도우 | LCD 및 oled 를 보호하는 강화유리 | 완성단계: CPI 필름 |
터치센서 | ITO대신 탄성이 뛰어난 대체 전극 소재 | 완성단계: 나노와이어, 메탈메시,폴리머 등 유연전극 |
디스플레이 패널 | TFE기술 | 완성단계: 각 층의 두께를 줄이고 적층수를 줄이는 기술 및 기판소재 PI, Vanish 등 |
기타 | 드라이버IC 등 | 완성단계: 필름타입의 드라이버 IC, 플렉서블 통합모듈 |
Encapsulation 기술 | 저온/고속으로 얇은 산화막 코팅 | 개발단계 |
PECVD 공정의 곡률에 따른 적용여부 | |
---|---|
곡률반경 > 3R |
가능 (엣지 디스플레이) |
곡률반경 > 1R |
폴더블 불가능 |
플렉서블 디스플레이 수분/산소 방지막
[Ref: UBI Research 2015]
구분 | Can(Getter) | Can(Frit) | TFE | Hybrid TFE |
---|---|---|---|---|
구조 | ||||
대면적 | ▲ | X | X | ● |
플렉서블 | X | X | ● | ● |
전면발광 | Impossible | Possible | Possible(SDC) | Possible(LGD) |
1) OLED 및 Cathode는 H2O와 O2에 매우 취약 (수명 단축)
2) Flexible OLED을 만들기 위해서는 Glass 보호막 사용 못함
3) OLED 및 Polymer substate는 고온에서 경화됨. (저온 공정)
2) Flexible OLED을 만들기 위해서는 Glass 보호막 사용 못함
3) OLED 및 Polymer substate는 고온에서 경화됨. (저온 공정)
1) 박막 밀도 (High), Step Coverage (High)
2) 박막 내의 불순물 (Low), 박막 Crack 및 Pin-hole (Low)
3) 저온공정 가능 (<100℃)
4) WVTR < 10-6 g•m-2/day
반도체 저온/고생산성 원자층 박막
1) 지속적인 Scale Down으로 인한 Tunneling 증가
2) 3D Structure 도입으로 높은 Conformal 증착 필요
3) DPT/QPT등 저온 공정 지속 증가
2) 3D Structure 도입으로 높은 Conformal 증착 필요
3) DPT/QPT등 저온 공정 지속 증가
1) 생산성 (High), Step coverage (High)
2) 박막 내의 불순물 (Low)
3) 저온공정 가능 (<80℃)
4) 전기적특성 (High)
2) 박막 내의 불순물 (Low)
3) 저온공정 가능 (<80℃)
4) 전기적특성 (High)
원자층 진공 증착 장비 (Atomic Layer Deposition)
증착 균일성 비교
ALD 장점
증착 균일성 비교
타 증착 장비간 비교
CVD | ALD | |
---|---|---|
Step coverage | Good(~70%) | Excellent(~95%) |
Deposition temp. | < 400℃ | < 400℃ |
Deposition reaction | Surface reaction + gas phase reaction | Surface reaction |
Particle | · | Good |
Contamination | 5~30 at%(C,O) | <lat% |
Thickness control | Depends on Gas flow rate, temp, Time, etc | Good(Depends on # of Cycle) |
Repeatability | OK | Good |
Composition | Bad | Good |
시분할 ALD 와 공간 분할 ALD 비교