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한국알박 (ULVAC Korea)

by wizone posted Mar 03, 2023
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Date 2023/01 (예정)
Client 한국알박 (ULVAC Korea)
Product PEALD (12” Wafer)
Docking to TM (Sputter Cluster)
Max. 400℃
RF Plasma (13.56MHz)
For Test Bed Demo
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