| Date | 2023/01 (예정) |
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| Client | 한국알박 (ULVAC Korea) |
| Product | PEALD (12” Wafer) Docking to TM (Sputter Cluster) Max. 400℃ RF Plasma (13.56MHz) For Test Bed Demo |
한국세라믹기술원 (Korea)
주요실적
국내 유수의 대학 연구실에 판매를 통한 Mini ALD Reference 확보
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한국알박 (ULVAC Korea)
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한국세라믹기술원 (Korea)
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Shanghai Univ
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ASM Korea R&D
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아주대학교
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파워큐브세미
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한국광기술원
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(주)제이아이테크
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충남대학교
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