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한국세라믹기술원 (Korea)

by wizone posted Mar 03, 2023
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Extra Form
Date 2022/05 (完)
Client 한국세라믹기술원 (Korea)
Product PEALD/ALE (12” Wafer)
Stand Alone (using L/L)
Max. 400℃
RF Plasma (13.56MHz)
For Test Bed Demo
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