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한국세라믹기술원 (Korea)

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Date 2022/05 (完)
Client 한국세라믹기술원 (Korea)
Product PEALD/ALE (12” Wafer)
Stand Alone (using L/L)
Max. 400℃
RF Plasma (13.56MHz)
For Test Bed Demo
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주요실적

국내 유수의 대학 연구실에 판매를 통한 Mini ALD Reference 확보

  1. 03Mar
    by wizone

    한국알박 (ULVAC Korea)

  2. 03Mar
    by wizone

    한국세라믹기술원 (Korea)

  3. 03Mar
    by wizone

    Shanghai Univ

  4. 03Mar
    by wizone

    ASM Korea R&D

  5. 03Mar
    by wizone

    아주대학교

  6. 03Mar
    by wizone

    파워큐브세미

  7. 03Mar
    by wizone

    한국광기술원

  8. 03Mar
    by wizone

    (주)제이아이테크

  9. 03Mar
    by wizone

    충남대학교

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