Date | 2019/08 (完) |
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Client | Shanghai Univ. OLED Center (China) |
Product | PEALD (200x200mm2 Glass) Docking to TM (OLED Cluster) Bottom –> Up Deposition (No using Flip Chamber) 400℃, RF Plasma (13.56MHz) |
한국알박 (ULVAC Korea)
한국세라믹기술원 (Korea)
Shanghai Univ
ASM Korea R&D
아주대학교
파워큐브세미
한국광기술원
(주)제이아이테크
충남대학교