logo

 
반도체, 디스플레이 및 배터리 분야 핵심 공정인 ALD 분야 전문성을 바탕으로 지속 성장
 
HISTORY
 
2015
  • 법인 설립 (2015.12.13)
  • 2016
  • 한양대 특허 기술 이전
  • 벤처 인증 / ISO9001 인증
  • 투자 연계형 RND 과제 선정
  • 연구개발 특구 연구소기업 지정
  • ALD분야 성장
    2016
  • LG화학 ALD Gas Injector 판매
    (LG전자 System 탑재)
  • LG전자 상압 ALD Gas Injector 개발
  •  
  • Display向 공간분할 ALD

    Display向 공간분할 ALD

  • 반도체向 시분할 ALD

    반도체向 시분할 ALD

  • 신소재/반도체 R&D向 ALD

    신소재/반도체 R&D向 ALD

  • 상압 R2R/공간분할 ALD

    상압 R2R/공간분할 ALD

  • 고생산성 Display ALD
    고생산성Semi. ALD
    상압 R2R/공간분할 ALD
    Powder ALD