Gas Injector 방식의 공간분할 ALD 기술로 기존 ALD가 가지고 있는 문제점 해결
① 가스 분리성능이 뛰어난 인젝터 모듈 설계기술
② 진공에서 빠른 이송이 가능한 기판 이송 시스템
③ 기판의 대면적화 가 가능한 모듈식 시스템 구성
가스 인젝터 모듈
가스 분리 기술, 단일 가스를 균일하게 분사할 수 있는 확산모듈 설계
ALD 가스 인젝터 모듈 구조 및 Requirement | 넥서스비 기술 노하우 및 차별성 |
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반응가스의 완벽한 분리 필요 |
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고속 진공 이송장치
마그네틱 및 코어를 이용한 비접촉 이송으로 이송중 떨림/파티클 없이 진공고속이송 가능
ALD 기판 이송장치 제작 시 요구사항 | 넥서스비 기술 차별성 | |||||||||||||||
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A. 이송 안정성 확보 (떨림 및 고속 이송 안전성 확보) : 해당 Spec은 부록 첨부참조
B. 추가 파티클 등 기타 안정성 확보
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• 진공환경 내 안정적으로 고속 이송하는 이송 모듈 필요함 • 이송중 떨림 및 파티클 등 안정적 관리가 필요함 |
대면적화 가능한 모듈 구성
Shower head type injector | Bar type injector |
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• 대면적화 Injector은 면적으로 증가 • Pumping Stream 불균형 발생 우려 • 유지보수비용 및 제작 비용 증가 |
• 대면적화 Injector은 선형으로 증가 (수량 or 길이) • 상대적 Pumping Uniformity 유리 • 상대적 유지보수비용 유리 |
Problem of Conventional ALD