2025.02.14 16:14
Thermal Mini ALD 관련
조회 수 469 추천 수 0 댓글 0
안녕하세요. 세종대학교 정종완이라고합니다.
Mini ALD 로 ZrO2, HfO2 등의 high-k 유전막 증착이 가능할지요.
3개의 precursor, (Zr, Hf, Al 계열등), H2O 와 O3 generator사용시 가격이 어떻게 될지요.
Mini ALD 스펙과 가격을 문의드립니다.
전화번호: 010- 8329-4011
email: jwjung@sejong.ac.kr
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