• 마듈 Type 가스 인젝터 내부에 확산 영역인 공동이 있어 분사 직전 가스를 확산하여 대면적 전 영역을 균일하게 채울 수 있도록 구현함으로써, 대면적화에 유리
• 공동 내에 확산되어 있던 가스들을 이송 기판으로 일정 하게 분사함으로써 전체 균질성 확보 및 대면적화에 유리

A. 이송 안정성 확보 (떨림 및 고속 이송 안전성 확보) : 해당 Spec은 부록 첨부참조

• 진공, 고온환경 내부 고속 이송이 가능한 Linear Motion 이용
• Linear Motion은 Magnetic 및 Core를 이용한 Non Contact 방식으로 이송 시 발생하는 미세 떨림 및 파티클을 현저히 줄일 수 있음.

No.	Item	X Axis
1	Drive	PM BLDC Liner Servo Moto for Vacuum
2	Resolution	< 0.2um /count
3	Mean Position Accuracy	+/- 2um / full travel
4	Velocity Ripple	+/- 0.3%

• Gas Injector와 기판간의 Gap을 약 2mm 이므로, Linear Motion을 이용시 정확도 및 떨림 현상이 최대 2um 이내로 공정 진행상 특이 사항 없음.

B. 추가 파티클 등 기타 안정성 확보

• Linear Motion에 추가로 Linear Cover를 이용한 격벽 설비를 구현하여 반응 기체와의 접촉을 차단하고, 추가로 발생할 수 있는 미세 파티클들의 유입을 차단함